島津X射線熒光光譜儀XRF-1800/XRF-1500/1700系列X射線熒光光譜儀開發出微區分析/分布分析功能，并采用了4KW薄窗X射線管，擴大了X射線熒光分析的應用領域。
掃描型X射線熒光光譜儀XRF-1800型從儀器的硬件與軟件在許多細節都進行了改進，使得儀器的可靠性與可操作性進一步提高，增加了250μm微區分布成像分析功。

· 在波長色散型裝置中，250μm微區分布成像分析功能。
可分析不均勻樣品的含量分布、強度分布。
稀 土元素礦石的XRF-1800成像分析實例
· 利用高次譜線進行準確的定性/定量分析
高次譜線的判定更加準確，提高了定性定量分析的準確度/可靠性。
利用XRF-1800的高次譜線分析剎車片實例
· 測定高分子薄膜的膜厚與無機成分分析的背景基本參數(BG-FP)法
利用康普頓散射/瑞利散射的強度比計算出熒光X射線分析不能得到的氫（H）元 素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普頓散射線的理論強度作為高分子薄膜 的信息。
使用XRF-1800進行的膜厚測定、薄膜測定實例