蔡司三坐標(biāo)ZEISS XENOS長(zhǎng)度測(cè)量誤差E00.3 + L/1,000 μm。

測(cè)量范圍XYZ9/15/79001,500700機(jī)械設(shè)計(jì)XENOS采用了機(jī)械設(shè)計(jì)理念。

可選用的軟件：CALYPSO GEAR PRO
可選用的探測(cè)頭：VAST gold

機(jī)械設(shè)計(jì)
XENOS采用了機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動(dòng)行程軸僅橫梁于Y軸方向

移動(dòng)，更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱實(shí)在的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn)：高速、加速超快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響。結(jié)合高分辨率光柵尺

技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納 米的高定位精度。例如，測(cè)針偏移量越恒定，即可獲得測(cè)量

精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)：測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)的準(zhǔn)確性。

優(yōu)化的氣浮軸承

強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測(cè)量精度。

長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0

0.3 + L/1,000 μm

測(cè)量范圍