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詳細介紹
精度范圍：≤(3.0+L/200)um L爲被測長度(單位:mm)
操作方式：全閉環CNC控制
量測分辨率：0.0005mm
三軸控制系統：日本松下伺服傳動系統或同等級產品
成像系統：采用超清美國TEO成像技術或同等級產品
軟體：三軸自動可程控式多功能軟體，可實現多重復雜測量自動編程
放大倍數：超低變形 多段倍率遠心光學設計光學放大倍率0.7-4.5X影像放大倍率20-140X(可定制40-280X)
精密側頭(選配)：
操作方式：全閉環CNC控制
量測分辨率：0.0005mm
三軸控制系統：日本松下伺服傳動系統或同等級產品
成像系統：采用超清美國TEO成像技術或同等級產品
軟體：三軸自動可程控式多功能軟體，可實現多重復雜測量自動編程
放大倍數：超低變形 多段倍率遠心光學設計光學放大倍率0.7-4.5X影像放大倍率20-140X(可定制40-280X)
精密側頭(選配)：
原裝英國雷尼紹MCP高精度三維測量頭，可針對內錐
深度.高度.平面度.傾斜度.直線度等等簡單三維測量
激光測頭(選配)：
原裝日本基恩士激光測頭可針對可于透明件，玻璃鍍層
玻璃曲翹的快速測量 平面度，厚度.深度 高度 偏擺等等
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