1、機械振蕩（加/減速時）
引發此類故障的常見原因有：
①脈沖編碼器出現故障。此時應檢查速度檢測單元反饋線端子上的電壓是否在某幾點電壓下降，如有下降表明脈沖編碼器不良，更換編碼器；
②脈沖編碼器十字聯軸節可能損壞，導致軸轉速與檢測到的速度不同步，更換聯軸節；
③測速發電機出現故障。修復，更換測速機。維修實踐中，測速機電刷磨損、卡阻故障較多，此時應拆下測速機的電刷，用綱砂紙打磨幾下，同時清掃換向器的污垢，伺服電機再重新裝好。
2、機械運動異常快速（飛車）
此類故障，應在檢查位置控制單元和速度控制單元的同時，還應檢查：①脈沖編碼器接線是否錯誤；②脈沖編碼器聯軸節是否損壞；③檢查測速發電機端子伺服電機是否接反和勵磁信號線是否接錯。
3、主軸不能定向移動或定向移動不到位
此類故障，應在檢查定向控制電路的設置調整、檢查定向板、主軸控制印刷電路板調整的同時，還應檢查位置檢測器（編碼器）的輸出波形是否正常來判斷編碼器的好壞（應注意在設備正常時測錄編碼器的正常輸出波形，以便故障時查對）。
4、坐標軸進給時振動
應檢查電機線圈、機械進給絲杠同電機的連接、伺服系統、脈沖編碼器、聯軸節、測速機。
5、出現NC錯誤報警
NC報警中因程序錯誤，操作錯誤引起的報警。如FANUC6ME系統的Nc出現090.091報警，原因可能是：①主電路故障和進給速度太低引起；②脈沖編碼器不良；③脈沖編碼器電源電壓太低（此時調整電源15V電壓，使主電路板的+5V端子上的電壓值在4.95-5.10V內）；④沒有輸人脈沖編碼器的一轉信號而不能正常執行參考點返回。
6、伺服系統報警
伺服系統故障時常出現如下的報警號，如FANUC6ME系統的416、426、436、446、456伺服報警；STEMENS880系統的1364伺服報警；STEEMENS8系統的114、104等伺服報警，此時應檢查：①軸脈沖編碼器反饋信號斷線、短路和信號丟失，用示渡器測A、B相一轉信號，看其是否正常；②編碼器內部故障，造成信號無法正確接收，檢查其受到污染、太臟、變形等。