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詳細介紹
基本參數(標準型)
X向量程：100mm
X軸分辨率：0.2μm
X軸指示精度：±（3+0.02L)μm
Z1向量程：25mm
Z1軸分辨率：0.05μm
Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm
Z軸高度：320mm 立柱行程
直線度：1μm/50mm
水平精度：±（1.2+0.02L)μm
垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm
驅動方式：X軸 Z軸 均為電動
檢測方法： X軸 高精度光柵傳感器 0.2μm
Z1軸 高精度光柵傳感器 0.05μm
驅動速度： X軸 Z軸（立柱） 4檔，可自定義速度
測量速度：X軸: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定義
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