詳細介紹
GNX200BP晶圓研磨是一款全自動的連續向下進給研磨機
GNX200BP全自動晶圓研磨機概要:
GNX200BP晶圓研磨機是一款全自動的連續向下進給研磨機。晶圓由機械手通過機器進行處理,并裝載/卸載臂。在最終研磨站之后,使用兩個不同的站進行晶片清潔。卡盤轉速,砂輪轉速和砂輪主軸下降速度可以用來控制砂輪的產量,表面光潔度和砂輪壽命。兩點制程量規測量系統控制磨削主軸1和2下的晶片厚度。三點磨削主軸角度調節機構用于輕松保持晶片輪廓(ttv);可選配電動調節裝置。在研磨站完成后,晶片將自動轉移到拋光單元。局部拋光單元消除了表面下的損壞,從而提高了晶片的芯片強度,并具有處理50微米最終厚度的能力。
OKAMOTO GNX200BP全自動晶圓研磨機特點:
1.研削加工技術:日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎。
2.機械精度的調整方法:通過主軸進行調整,因為可進行原點定位,所以精度調整相當容易;可2處調節。
3.標準驅動方式:齒軸+定位銷進行定位,長年使用也不會發生位移。
4.標準潤滑方式:潤滑油及防護罩,防止進入異物造成磨損。
5.設備剛性:高剛性,不會因老化造成精度變化,部件由岡本自產鑄金一體化生產。
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