. 設計精密，結構堅固，重量輕，易于安裝及維護；
2. 空氣冷卻（氣冷式）；
3. 值結式驅動,可避免轉動皮帶及齒輪之松弛或損耗；
4. 含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外；
5. 進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統,避免真空油逆流；
6. 低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦；
7. 運轉聲音小；
8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程；
9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口*排出,而不會在泵浦內發生凝結.
它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
用途范圍