. 設(shè)計(jì)精密，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，重量輕，易于安裝及維護(hù)；
2. 空氣冷卻（氣冷式）；
3. 值結(jié)式驅(qū)動(dòng),可避免轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶及齒輪之松弛或損耗；
4. 含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外；
5. 進(jìn)氣口有逆止閥,當(dāng)泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流；
6. 低震動(dòng),不需用基礎(chǔ)螺拴固定泵浦；
7. 運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小；
8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程；
9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會(huì)從泵浦出氣口*排出,而不會(huì)在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結(jié).
它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
用途范圍