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晶圓機器人

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更新時間:2021-04-07 09:04:03瀏覽次數(shù):536

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產(chǎn)品簡介

晶圓機器人

詳細介紹

  • 軟硬件垂直整合優(yōu)勢,并且采用高精密,高剛性直驅(qū)馬達,重復(fù)精度達±0.02mm,回轉(zhuǎn)半徑小,空間使用率高。
  • 適用於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。

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