蔡司掃描電子顯微鏡Sigma560

　　高吞吐量分析。自動化原位實驗。

　　真實樣品的高效分析：基于 SEM 的分析具有速度和多功能性。

　　使您的原位實驗自動化：用于無人值守測試的全集成實驗室。

　　對 1 kV 以下具有挑戰性的樣品進行成像：收集全面的樣品信息。

　　真實樣本的高效分析

　　利用 EDS 的多功能性進行調查并加快速度Sigma 560 流的 EDS 幾何結構可提高您的分析效率。兩個 180° 徑向相對的 EDS 端口保證了吞吐量和無陰影映射，即使在低射束電流和低加速電壓下也是如此。

　　腔室上用于 EBSD 和 WDS 的附加端口允許進行 EDS 以外的分析。

　　即使是非導體也可以使用新的 NanoVP lite 模式進行分析，具有更多的信號和對比度。

　　新的 aBSD4 檢測器可輕松提供高度形貌樣品的圖像。

　　自動化您的原位實驗

　　完集成的無人值守測試實驗室Sigma的原位實驗室是一種完集成的解決方案，可在無人值守的自動化工作流程中實現獨立于操作員的加熱和拉伸測試結果。

　　通過分析 3D 中的納米級特征進一步擴展您的工作流程：執行 3D STEM 斷層掃描或執行基于 AI 的圖像分割。

　　新的 aBSD4 允許實時 3D 表面建模 (3DSM)。

　　輕松對具有挑戰性的樣品進行成像

　　查看 1 kV 及以下的差異在 1 kV 甚至 500 V 下實現信息成像和分析：Sigma 560 的低電壓分辨率在 500 V 時指為 1.5 nm。

　　使用新的 aBSD 或 C2D 檢測器，在加速電壓低至 3 kV 的新 NanoVP lite 模式下，在可變壓力下輕松研究具有挑戰性的樣品。

　　如果您正在研究電子設備，您會希望保持清潔的環境。通過(強烈推薦)等離子清潔器和允許穿梭 6 英寸晶圓的新型大型氣閘，保護您的腔室免受污染。

　　Gemini 1 光學

　　Gemini 1 光學系統由三個元件組成：物鏡、光束增強器和 Inlens 檢測概念。物鏡設計結合了靜電場和磁場，以大限度地提高光學性能，同時將對樣品的場影響降至低。這使得即使在具有挑戰性的樣品(如磁性材料)上也能實現出色的成像。Inlens 檢測概念通過檢測二次 (SE) 和/或背散射 (BSE) 電子確保有效的信號檢測，同時大限度地縮短成像時間。光束增強器保證小探頭尺寸和高信噪比。

　　靈活檢測

　　Sigma 具有一套不同的檢測器。使用新的檢測技術表征您的樣品。使用 ETSE 和用于高真空模式的 Inlens 檢測器獲取高分辨率地形信息。使用 VPSE 或 C2D 檢測器在可變壓力模式下獲得清晰的圖像。使用 aSTEM 檢測器生成高分辨率透射圖像。使用不同的可選 BSE 檢測器(例如 aBSD 檢測器)研究成分和形貌。