晶圓激光開槽設(shè)備（四元）

    晶圓ji光開槽設(shè)備（四元）產(chǎn)品簡介 ：

    型號(hào)AS-5360，利用高質(zhì)量光斑的激光對(duì)砷化鎵晶圓進(jìn)行半切透的加工

晶圓激光開槽設(shè)備（四元）

    晶圓ji光開槽設(shè)備（四元）產(chǎn)品特點(diǎn) ：

    設(shè)備優(yōu)勢：

     ◆ 切割速度快，良率高，產(chǎn)能高

     ◆ 無殘?jiān)⒒厝冢庥^好

     ◆ 全自動(dòng)運(yùn)行，集成保護(hù)液涂覆，晶圓開槽，清洗模塊

    工藝流程：

     保護(hù)液涂覆---切割---清洗

    晶圓ji光開槽設(shè)備（四元）性能指標(biāo) ：

     ◆ 激光種類：355nm半導(dǎo)體泵浦激光器 (紫外)

     ◆ 激光功率：≧8W

     ◆ 冷卻方式：封閉式循環(huán)水冷

     ◆ 劃片速度：切割軸X軸切速≦600mm/s

     ◆ 劃片尺寸：2寸、4寸（可升級(jí)6英寸）

     ◆ 激光切割線寬：＜15um@切深40um

     ◆ 切割道寬度：≧30um

     ◆ 切割對(duì)象：砷化鎵

     ◆ 加工方式：正劃/背 切；單軸切割

    晶圓ji光開槽設(shè)備（四元）產(chǎn)品應(yīng)用 ：

     應(yīng)用材料和領(lǐng)域：

     ◆ 應(yīng)用于LED照明行業(yè)紅黃光產(chǎn)品的砷化鎵晶圓的直線切割