五軸激光微納加工設(shè)備

五軸ji光微納加工設(shè)備產(chǎn)品介紹：

該系統(tǒng)是一套多維超快激光精細(xì)微加工系統(tǒng)，通過精密控制多維微位移系統(tǒng)的運動，實現(xiàn)各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細(xì)微加工。并成功的應(yīng)用航天發(fā)動機部件、汽車噴油嘴器件、和雷達(dá)核心行波管柵網(wǎng)加工等*產(chǎn)品應(yīng)用。

五軸激光微納加工設(shè)備

五軸ji光微納加工設(shè)備產(chǎn)品特點：

◆ 采用超短脈沖激光，表面的熱影響和殘渣微小。
◆ 采用多軸平臺，可實現(xiàn)各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細(xì)微納加工。
◆ 材料適應(yīng)性強，對各類金屬、陶瓷、晶體、半導(dǎo)體以及高分子聚合材料進行超精細(xì)精密鉆孔、切割、蝕刻以及劃槽等微加工處理，比較成熟的應(yīng)用在航空航天、汽車、模具、微電子等行業(yè)

五軸ji光微納加工設(shè)備性能指標(biāo)：

◆ 設(shè)備型號：LMS-10
◆ 激光種類：超短脈沖激光
◆ 波長：1064nm,532nm,355nm（波段可選擇，可集成雙光路系統(tǒng)、三光路系統(tǒng)）
◆ X/Y/Z軸定位精度：±2um / ±2um / ±4um
◆ X/Y/Z軸重復(fù)定位精度：±1.5um / ±1.5um / ±3um
◆ A/B角度定位精度： 0.003° / 0.003°
◆ A/B角度重復(fù)定位精度：0.001° / 0.001°