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設計用于需要高精度測量的機床和系統,典型應用包括:
半導體工業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超精密機床
高精度機床
測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
直接驅動
產品系 | 應用 |
LIC | LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27 m內的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。 |
LIP | LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測量基準為DIADUR相位光柵。 |
LIF | LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復精度高,安裝簡單,有限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環境中(參見其單獨“產品信息”)。 |
LIDA | LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運動速度達10 m/s的高速運動應用,支持多種安裝方式,安裝簡單。根據相應應用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關。 |
PP | PP雙坐標編碼器的測量基準是一個平面DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測量平面中位置。 |
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