GENIUS系列紫外皮秒激光器

應用：

● 半導體晶圓檢查
● 細胞篩選
● 微加工
● 微型立體光刻

GENIUS系列紫外皮秒激光器

特征參數：

● 150-350nm@355nm
● 80MHz重復頻率 / 12ps脈寬
● 高光束質量M2<1.3 
● 緊湊、密封、堅固的工業級操作平臺確保了良好的光束性能和*的功率穩定性。

GENIUS 系列

高重頻紫外皮秒激光器

GENIUS 系列提供全固態準連續波長紫 外皮秒激光器。該款激光器采用工業化設 計，結構小巧、重量輕，標準通用外控接 口，適合系統集成。

光束特性 項目 GENIUS-150 GENIUS-350 波長(nm) 355nm 功率 150mW 350mW 重復頻率 1(MHz) 80MHz±1MHz 脈寬 2(ps) ＜12ps 光束質量 TEM00(M2＜1.3) 平均功率穩定性 3(RMS) ＜2% 偏振度 ＞100:1 水平 光斑圓度(%) ＞85% 光束指向性 4(μrad/℃) ＜20μrad/℃ 光斑尺寸 5(mm) ~1mm 一般特性 電源輸入 220 VAC ±5% 50-60Hz 能量損耗 ＜1kW 冷卻方式 閉路循環水冷 工作條件 溫度 15-35℃ 濕度 ＜65% 加熱時間(min) ＜40min