DLP/光刻照明光源

昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備，集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術的具有挑戰性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長光譜的設置非常適合。數值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統中。

DLP/DMD光刻照明光源產品亮點：

• 專為DLP®9000和DLP®9500設計

• 包括高性能LED驅動器、便于控制和編程

• 高強度性能能夠縮短/減少處理時間

• 由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑

• 不會過時的無汞光源

  
  

DLP/DMD光刻照明光源產品規格：

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