詳細介紹
產品名稱:激光開封機 (激光開帽(冒)機、激光開蓋機、塑料器件激光開封機)
型號:KY-C-GC5/7/10/15
適用材料:
芯片封裝體(Package)中的絕大多數IC封裝料:
1、EMC:Epoxy Molding Compound-塑封料-常規指熱固型環氧樹脂以及各種添加劑(固化劑/改性劑/脫模劑/染色劑/阻燃劑等):
一般指已大量商用的消費電子類芯片封裝體中的COB黑膠,LED透明硅膠和其他各類粘合劑以及DIP/SOP/QFN/SOIC/TSSOP/PQFP/BGA/CSP等各種封裝外形下的其他塑料封裝材料;
2、L/F:Lead Frame-引線框架
常規指銅(含鍍銀、NiPdAu-鎳鈀金)/鋁/金綁定線、引腳等;
3、其他:/航天以及少量商用的陶瓷和其他可伐金屬材料如鐵鎳鈷合金等。
不論采用何種方法,開封的前提是需要保持各類芯片(如Die、Bond pads、Bond wires、Lead-frame)功能的完整無損。
與傳統的制模、機械切割研磨、化學腐蝕(各種酸類如硫酸、發煙硝酸和混酸等)和等離子等開封方法相比,激光這個工具有著十分亮眼的表現。
目前的案例均表明其能有效改進芯片剖面分析工藝,節省開封時間,降低開封成本,提高開封良率,最終為各種類型的半導體失效分析應用提供清晰精確的測試樣品。
1)精心選用的適合不同封裝材料且已從產學研前沿進入工業產業化應用的激光器:
脈沖光纖(1064nm)、短波長的紫外綠光等冷光源(532/355nm)
共性:激光光斑細小(適應集成電路微型特點)、輸出能量可控(小面積上的操作可行性),作為材料表面加工工具能得到較為精細的效果(更窄的線寬、更小的線間距),從而在以規模化為重要制程特征的本案例中能得到更高的良率;
2)精確高效的控制系統:
適應多種失效分析軟件/設備制成的圖片且可選開封區域的軟件;
激光光束運動軌跡控制板卡;
兩方面配合能精確控制開封的定位、層次(可控單層厚度在0.01-0.1mm)、形狀、尺寸、時間等;
3)總體上的效率、一致性、穩定性、耗材、環保性、綜合成本等綜合表現更佳。