詳細(xì)介紹
加工元件表面粗糙度可達(dá)納米級,口徑大可達(dá)到350mm,可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件??杉庸ゃ~、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯(lián)動模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對稱元件和自由曲面,配以特殊*可以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工,如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。
海普超精自主研制的超精密模具DJC-350A超精密單點(diǎn)金剛石可加工:
1、可加工各種平面、球面、非球面,還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對稱元件和自由曲面
2、可實(shí)現(xiàn)衍射元件和菲涅爾透鏡等微結(jié)構(gòu)元件的加工
3、可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料
4、工件口徑可達(dá)到350mm,工件表面粗糙度Ra<3nm,面型精度PV值<0.2μm
設(shè)備精度:
Z軸(沿主軸)
1.大行程: 350mm
2.直線度:0.2μm/100mm
3.定位精度 :0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重復(fù)定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.大進(jìn)給速度: 20mm/s
X軸(垂直于主軸)
1.大行程: 350mm
2.直線度: 0.2μm/100mm
3.定位精度: 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重復(fù)定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.大進(jìn)給速度: 20mm/s
C軸(工件軸)
1.徑跳和端跳 : 0.05μm
2.C軸轉(zhuǎn)速:0-1000rpm; 主軸轉(zhuǎn)速: 0-4000rpm
3.轉(zhuǎn)角定位精度: 30″
4.轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度:10″
設(shè)備使用環(huán)境:
1.要求隔震地基,設(shè)備在溫度:20±2℃,一天內(nèi)溫度梯度小于2℃。濕度:<50%的環(huán)境下使用。
2.空氣過濾精度:0.5um。除油、除水。
3.空氣壓力:≥0.6MPa。
4.空氣流量: ≥0.3m³/min。
5.電源:380V,設(shè)備功率:≤5KW。