精密大水磨平面磨床磨削技術的歷史與發展！

精密大水磨平面磨床磨削加工是利用磨料去除材料的加工方法，也是人類使用的精密大水磨平面磨床生產技藝方法。

18 世紀中期一臺精密大水磨平面磨床問世，由石英石、石榴石等天然磨料敲鑿成為磨具，用天然磨料和粘土燒結成砂輪，隨后又研制出精密大水磨平面磨床。

20 世紀40 年代末，人造金剛石出現；1957 年立方氮化硼研制成功；隨著磨削技術的發展，特別是超硬磨料人造金剛石砂輪與立方氮化硼砂輪的應用，磨削加工應用范圍日益增大，磨削加工精度及加工效率也不斷提高。

精密大水磨平面磨床磨削技術得到快速發展，磨床在加工機床中也占有相當大比例。據1997 年歐洲機床展覽會(EMO)調查數據表明，25% 企業認為磨削是他們應用最主要加工技術，車削只占23% ，鉆削占22% ，其它占8% ；而磨床在企業中占機床比例高達42% ，車床占23% ，銑床占22% ，鉆床占14% 。

我國從1949～2007 年，開發生產通用磨床有1800 多種，專用磨床有幾百種，磨床擁有量占金屬切削機床總擁有量15% 左右?？梢?，磨削技術及精密大水磨平面磨床在機械制造業中占有極其重要位置。

近年來，國外對精密和超精密大水磨平面磨床磨削技術的開發研究獲得了不少成果，主要體現在ELID鏡面磨削新工藝的研究和加工硅片以及非球面零件的應用上。

日本國家理化學研究所的大森整教授于1987年研制成功了在線修整砂輪的ELID鏡面磨削新工藝。

精密大水磨平面磨床ELID鏡面磨削技術是利用在線電解修整作用連續修整砂輪來獲得恒定的出刃高度和良好的容屑空間，同時，在砂輪表面逐漸形成一層鈍化膜，當砂輪表面的磨粒磨損后，鈍化膜被工件表面磨屑刮擦去除，電解過程繼續進行，對砂輪表面進行修整,加工表面粗糙度Ｒａ達到0.02～0.01µｍ，表面光澤如鏡。

美國在應用精密大水磨平面磨床ELID磨削技術加工電子計算機半導體微處理器方面已取得突破性進展,在國防、航空航天及核工業等領域的應用研究也在進行，PeiZJ等人對自旋轉磨削法精密磨削硅片的加工過程以及加工參數、砂輪粒度、冷卻液供給等加工條件對磨削力、硅片面型精度、表面磨削紋路、表面粗糙度的影響進行了系統的試驗研究。

德國是研究精密大水磨平面磨床ELID磨削技術的幾個國家之一。在1991年就有德國的機床廠家進行了系列ELID專用機床的設計。此外，英、法等國對精密大水磨平面磨床ELID磨削技術也進行了深入的研究。

我國對精密大水磨平面磨床精密磨削的研究尚處于初級階段，主要集中在高校。哈爾濱工業大學以袁哲俊教授為首的ELID課題組研制成功了ELID磨削專用的脈沖電源、磨削液和砂輪,在國產機床上開發出平面、外圓和內圓ELID磨削裝置，實現了多種難加工材料的精密鏡面磨削。目前正積極推廣普及該技術，實現其產品化。東華大學機械學院的研究者利用固結磨粒低頻振動(頻率ｆ為0.5～20Ｈｚ、振幅為0.5～3ｍｍ)壓力進給的精整加工，研究了適宜的經濟加工條件及有關參數，并驗證了經過磨削加工后的陶瓷工件，再經過超精加工可以進一步降低其表面粗糙度，可降低2～4個等級。清華大學在集成電路超精密加工設備、磁盤加工及超精密砂帶磨削和研拋、精密大水磨平面磨床金剛石微粉砂輪超精密磨削等方面進行了深入研究，并有相應產品問世。