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AHL9000直線電機平臺 Aerotech

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  • 型號 AHL9000直線電機平臺
  • 品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 北京市

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更新時間：2017-11-30 17:56:20瀏覽次數：822

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產品簡介

產地 進口 銷售區域 全國
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um

詳細介紹

AHL9000直線電機平臺

1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
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