機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測*應(yīng)用設(shè)計
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機(jī)驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
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北京高控科技有限公司 |
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2017-11-30 17:59:36瀏覽次數(shù)：680
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ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測*應(yīng)用設(shè)計
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機(jī)驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
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