詳細介紹
設備特點:
1. 設備可檢測磨削扭力、自動調節工件磨削速度,從而防止磨削過程中因壓力過大產生變形及破損,自動補償砂輪磨損 厚度尺寸,可鴿直徑150晶片減薄到0.08mm厚而不會破碎,而且平衡度可控制 在上下0.002mm范圍內 。
2. 減薄效率高,LED藍寶石衹第分鐘磨削速度zui高可減薄-48微米。硅片第分鐘磨削速度zui高可被減薄250微米。
3.吸盤根據客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據客戶需求定制,直徑320mm-600mm。
4.砂輪主軸采用精密的調整旋轉電主軸,驅動方式為變頻調速轉速可以根據不同的工藝要求由OLC控制系統支持的驅動模式而相應改變轉速3000-8000轉可調。
5.砂輪進給模式三段設置,能更方便地設置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果。
6.對刀方式 改變砂輪和吸盤的情況下,針對不同的厚度的工件只需要一次對刀就可以連續工作。不需要每次都要對刀。
7.本機采用高精密絲桿及導軌組件,驅動方式是伺服驅動,可根據不同的材質的工件及工藝要求由PLC控制的驅動模式面相應的改變絲桿的轉速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調,控制進給精密度高分辨率光柵尺檢測。
8.本機采用*的中國臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現人機對話,操作簡單一目了然。
設備參數:
吸盤規格 :Φ320xΦ600
主電機:2.2KW/0·280RPM
砂輪規格:Φ150xΦ210
砂輪進給伺服主機:750W
減薄工件厚度b:0.8mm≤b≤50mm
高速旋轉主軸:4KW/3000-8000RPM
減薄平行度:2um(50x50)
砂泵電機/冷卻電機:AB-100 250W
研磨工件理想規格:Φ50
分辨率:0.001mm
磨輪重復定位精準:3um
工作工位:依據產品而定
外形尺寸LxH:1150x200x1750mm
設備重量:700KG