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晶圓激光直切機(jī)

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更新時(shí)間:2020-08-20 14:23:42瀏覽次數(shù):526

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產(chǎn)品簡介

廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅晶圓的切線切割,以及l(fā)ow-K材料的開槽切割

詳細(xì)介紹

1、簡化生產(chǎn)流程,降低生產(chǎn)成本


2、速度快,效率高,零破片率


3、非機(jī)械加工,無機(jī)械應(yīng)力,提高芯片質(zhì)量


4、CCD快速定位功能


5、高精度的直線運(yùn)動(dòng)平臺,高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺


6、大理石基座,穩(wěn)定可靠,熱變形小


7、精密數(shù)控系統(tǒng)


8、全中文操作界面,操作直觀,簡易,界面良好


9、劃線工藝專家系統(tǒng)


10、高可靠性和穩(wěn)定性


11、激光器:IR/UV(選配)

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