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晶圓激光劃片機

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更新時間:2020-08-20 14:22:21瀏覽次數(shù):562

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產(chǎn)品簡介

劃片速度快,效率高,成片率高,非接觸式加工,無機械應(yīng)力,提高芯片質(zhì)量,CCD快速定位功能,實時同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能,高精度二維直線運動平臺,高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺

詳細介紹

 

1、劃片速度快,效率高,成片率高

 

2、非接觸式加工,無機械應(yīng)力,提高芯片質(zhì)量

 

3、CCD快速定位功能,實時同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能

 

4、高精度二維直線運動平臺,高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺

 

5、大理石基臺,穩(wěn)定可靠,熱變形小

 

6、精密數(shù)控系統(tǒng)

 

7、全中文操作界面,操作直觀、簡易,界面良好

 

8、劃線工藝專家系統(tǒng)

 

9、高可靠性和穩(wěn)定性

 

10、激光器:IR/UV(選配)

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