NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術(shù)特點(diǎn)

• 常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合。

• 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺(tái)掃描），即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到*化的小區(qū)域三維測(cè)圖。

• 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。

• 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察。

• 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級(jí)垂直分辨率　（zui小０.１nm ）

• 軟件設(shè)置恒定微力接觸。