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詳細介紹
NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術特點
常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的*結合。
雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖。
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。▃ui小０.１nm ）
軟件設置恒定微力接觸。
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