NANOMAP D光學雙模式輪廓儀/三維形貌儀主要功能及應用:

• 多種測量功能

精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數等測量數據。

• 薄/厚膜材料

薄/厚膜沉積后測量其表面粗糙度和臺階高度,表面結構形貌, 例如太陽能電池產品的銀導電膠線

• 蝕刻溝槽深度, 光刻膠/軟膜

亞微米針尖半徑選件和埃級別高度靈敏度結合，可測量溝槽深度形貌。

• 材料表面粗糙度、波紋度和臺階高度特性

分析軟件可輕易計算40多種的表面參數，包括表面粗糙度和波紋度。計算涵蓋二維或三維掃描模式。

• 表面光滑度和曲率

可從測量結果中計算曲率或區域曲率

• 薄膜二維應力

測量薄膜應力，能幫助優化工藝，防止破裂和黏附問題

• 表面結構和尺寸分析

無論是二維面積中的坡度和光滑度，波紋度和粗糙度，還是三維體積中的峰值數分布和承載比，本儀器都提供相應的多功能的計算分析方法。