XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一測量機的測量精度達到技術極限，其測量范圍近1立方米。創新的驅動技術和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機器的動態性能。

創新的機械設計
ZEISS XENOS新型的機械設計基于經過驗證的ZEISS CenterMax，令人印象深刻。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布 于 側 壁 頂 部 ，分 離 式 移 動 行 程 軸 僅 橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及速度的統一。

所有軸均采用線性驅動
XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優 點 ：高 速 、加 速 極 快 、定 位 精 度 高 、驅動無剪切力影響結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的*定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的精確性。