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詳細介紹
直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
參數：
本體重量Body Weight | 50KG |
適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ |
節拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料，傳輸位置不同相關) |
動態偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
重復定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復合運動 Compound motion | 支持Support |
PC遠程操作軟件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |
安全區Safe area | 支持Support |
碰撞保護 Collision protection | 支持Support |
認證Certification | SEMI S2 /SEMI F47/CE |
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