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真空機(jī)械手SRBZ970C

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更新時間:2021-09-11 14:01:29瀏覽次數(shù):401

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產(chǎn)品簡介

磁流體密封、網(wǎng)絡(luò)化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認(rèn)證S2,F(xiàn)47,迎合個性化設(shè)計(jì)具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐高溫、耐腐蝕,動態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能

詳細(xì)介紹

采用*的磁流體密封技術(shù),具有噪音小、振動小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。全新的軌跡規(guī)劃,提高運(yùn)動節(jié)拍,提高了用戶產(chǎn)能.帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用。可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制手臂尺寸等。

參數(shù):

型號

SRBZ970C

密封方式

磁流體密封

自由度數(shù)

2

負(fù)載

名稱

托盤

直徑

Φ380mm

重量

2kg

運(yùn)動范圍

R軸(mm

立柱中心至R軸伸展處被搬運(yùn)物體中心距離920

θ軸(°)

360

全行程最小時間

R軸(s

2.5Home to Extend 920mm

θ軸(s

4.8 (180°)

重復(fù)定位精度

θ軸(°)

±0.013σ)

R軸(mm

±0.13σ)

重量

機(jī)械手本體

41kg

控制器

15kg

耐真空度 (Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保護(hù)

盤片和機(jī)械手無損傷

行程

970mm

電源范圍 電壓波動范圍

單相交流208V +10%-15%


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