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真空機械手SRBZ970C

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更新時間:2021-09-11 14:01:29瀏覽次數:395

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產品簡介

磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐高溫、耐腐蝕,動態糾偏和碰撞保護功能

詳細介紹

采用*的磁流體密封技術,具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導致的各種損失。全新的軌跡規劃,提高運動節拍,提高了用戶產能.帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用。可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸等。

參數:

型號

SRBZ970C

密封方式

磁流體密封

自由度數

2

負載

名稱

托盤

直徑

Φ380mm

重量

2kg

運動范圍

R軸(mm

立柱中心至R軸伸展處被搬運物體中心距離920

θ軸(°)

360

全行程最小時間

R軸(s

2.5Home to Extend 920mm

θ軸(s

4.8 (180°)

重復定位精度

θ軸(°)

±0.013σ)

R軸(mm

±0.13σ)

重量

機械手本體

41kg

控制器

15kg

耐真空度 (Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保護

盤片和機械手無損傷

行程

970mm

電源范圍 電壓波動范圍

單相交流208V +10%-15%


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