機床商務網
詳細介紹
直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
參數：
本體重量 | 50KG |
適用晶圓尺寸 | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負載 | ＜500g |
電源輸入 | AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%，-15% |
節拍 | R axis＜3（Home to Extend703mm） |
θ axis＜2.5s(180°)(根據實際摩擦力) | |
Z axis＜1.8s（90mm） | |
重復定位精度 | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率 | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度 | 5X10-9Torr |
適用溫度 | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
行程 | R軸703mm Z軸90mm |
潔凈度 | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復合運動 | 支持 |
PC遠程操作軟件 | 支持 |
通信接口 | Ethernet/串口 |
IO互鎖 | 支持 |
安全區 | 支持 |
碰撞保護 | 支持 |
機床商務網