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真空機(jī)械手PHOENIX-S25

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更新時(shí)間:2021-09-10 14:32:05瀏覽次數(shù):381

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶(hù)可以根據(jù)需求配置成互鎖,傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能,。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,減少用戶(hù)誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能。可以根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用的特殊要求,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。


參數(shù):

本體重量

50KG

適用晶圓尺寸

300mm/200mm/150mm/100mm

負(fù)載

500g

電源輸入

AC電壓:AC208V AC頻率:50HZ/60HZ

電源范圍 電壓波動(dòng)范圍

單相交流208V +10%-15%

節(jié)拍

R axis3Home to Extend703mm

θ axis2.5s(180°)(根據(jù)實(shí)際摩擦力)

Z axis1.8s90mm

重復(fù)定位精度

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.003°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度

5X10-9Torr

適用溫度

法蘭:<120;本體:<50;手臂:<120

行程

R703mm Z90mm

潔凈度

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

復(fù)合運(yùn)動(dòng)

支持

PC遠(yuǎn)程操作軟件

支持

通信接口

Ethernet/串口

IO互鎖

支持

安全區(qū)

支持

碰撞保護(hù)

支持


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