二維輪廓度測量儀CLY-200B?應用領域

二維輪廓度測量儀是光學元器件檢測*的設備。可測量光學元件的輪廓度與光學方程的誤差。可逆推光學方程，對未知表面具有逆推系數的分析能力。適合全線光學元器件的測量（包括陡峭、平坦或小矢高等光學元器件）。

CLY-200B使用環境要求

設備使用溫度:20±2℃。一天內溫度梯度小于3℃。

濕度：＜65%。

空氣壓力：≥0.6MPa。

空氣過濾精度：0.01um。除油、除水。

空氣流量: ≥0.1m³/min。

CLY-200B主要配置

花崗石底座，滑動橫梁，滑動立柱，平移臺。

氣浮轉軸測頭（技術）。

測量臂可快速更換，測量力可微調。

CLY-200B技術參數

調整臺  
平移臺直徑200mm  
平移臺行程100mm

Y軸（滑動立柱）  
行程360mm  
運動直線度5µm

X軸（滑動橫梁）  
行程200mm  
直線度2µm/200mm

氣浮測頭（測量臂長55mm）  
測量精度1µm  
測量矢高（zui大）10mm