Ⅰ：標準產品ScanStep-T400

    SST系列運動平臺是星微科技持續在高級材料、*加工技術、精密結構分析和設計上不斷投入的結果，我們研發的目標是為今天要求嚴格的半導體工業設備提供高精度和高產出率的運動系統，同時是我們有著在迎接未來的挑戰中保持的技術能力SST氣浮平臺能滿足在電子及半導體加工、檢測設備的具有挑戰性的要求。

     傳統的平面式XY雙驅氣浮平臺都采用雙氣浮導向導軌的形式，空氣軸承的精度比滾動軸承高兩個數量級，具有精度高、摩擦低、可以在極限工作環境下工作等等有點，而氣浮導軌具有高承載力、高剛度、高速度、高精度、無摩擦、無污染等優點，雙氣浮導軌結構在安裝調試時對導軌本身的精度以及導軌之間的平行度要求*，并且該結構形式對環境恒溫要求也很高；SST系列運動平臺為了解決這些問題采用了開放式T型氣浮結構設計，T型結構具有機械安裝調試簡單，對環境的恒溫要求低，便于集成到客戶產品當中。

     SST系列運動平臺采用U型槽式直線電機驅動，這種電機結構簡單，定位精度高，反應速度快、靈敏度高，隨動性好，可以實現無接觸傳遞力，機械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長，結合高分辨率海德漢光柵尺以及改進的模糊PID閉環智能控制技術，通過調整控制器中速度環參數，并在位置環中加入微分控制來改善系統的阻尼，從而提高平臺的性能。在速度環中采用極點配置并加入適當的前饋補償，使平臺達到很高的加速度和定位精度。 

      憑借研發團隊在材料、設計、分析方面的專業技術對平臺整體進行不斷設計優化，非接觸的氣浮軸承的應用與磁預載的結構，實現無摩擦的平滑運動，使SST系統運動平臺達到微米~納米的定位精度及重復定位精度。ABLS系列運動平臺zui大加速度可以達到2G，zui大速度500MM/s，zui高精度0.5uM。 

Ⅱ：產品技術

◆平面XY運動氣浮平臺

◆花崗巖基座、緊湊式整體

◆集成式壓力、真空氣浮元件

◆ScanStep-T400氣浮平臺主要應用于需要高精度、高重復性和高產出率的系統。

Ⅲ：關鍵性指標

◆行程：400mm& 400mm

◆加速度：1G-X軸、2G-Y軸

◆速度：500mm/s

◆重復性：±40nm

◆精度：0.5um（直線編碼器）

◆小于0.1%的速度紋波

◆Settling time（±100nm）：<100ms

◆自然頻率：100Hz

Ⅳ：應用領域

◆科研                        

◆激光加工制造                        

◆半導體制造、檢測

◆工業制造

◆電子零件生產、組裝

◆平面顯示器制造、檢驗