為了提高
數(shù)控機床光機的加工精度，生產(chǎn)廠家在提高數(shù)控系統(tǒng)分辨率，提高位置檢測精度及在位置伺服系統(tǒng)中采用前饋控制與非線性控制等方法的同時，還開發(fā)、應用了多種補償功能，對伺服系統(tǒng)進行補償。如齒輪間隙補償、絲杠螺距誤差補償、空間誤差補償、刀縣補償?shù)燃夹g(shù)、熱補償技術(shù)等，以保證產(chǎn)品質(zhì)量。
加工精度是指零件經(jīng)機械加工后，其幾何參數(shù)（尺寸，形狀，表面相互位置）的實際值與理論值的符合程度。符合程度越高，加工精度越高。實際值與理想值之差，稱為加工誤差。加工誤差分為兩大類：系統(tǒng)誤差和隨即誤差。
影響加工精度的供應因素很多，可以概括的分為幾何和處理誤差。幾何誤差包括定位精度，滾擺，顛擺，搖擺，直線性和垂直性。處理誤差包括刀具，卡具，NC程序和溫度變化引起的誤差。需注意的是，測量誤差也是必須要考慮到的因素之一
現(xiàn)代數(shù)控機床光機有個基本功能叫“線性補償”。“線性補償”的概念與老式NC機床的螺距誤差補償相似，目的是優(yōu)化機床坐標的定位精度。在機床的“線性補償中，根據(jù)預先測定的測量結(jié)果來調(diào)整坐標指令位置和實際位置之間的誤差，以校正定位精度。這些測量值是再機床調(diào)試過程中用激光或其它高精度儀器測得，并存儲在機床數(shù)據(jù)表中。
通常情況下，數(shù)控機床光機的溫度特性與高速數(shù)控立車的主要材質(zhì)一一鋼和鑄鐵的特精緊密相關(guān)。絲杠、鑄鐵+鋼結(jié)構(gòu)、及光柵尺系統(tǒng)的線膨脹系數(shù)與鑄鐵或鋼的線膨脹系數(shù)相差不多。然而，濕切削、及加工非鋼件或鑄鐵件時的情況有所不同。此時，宜采用“線性補償”的方法對工件的熱膨脹進行線性補償。如此，將會大幅度提高機床的加工精度。
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