主機

描述

系統配置

3軸或4軸超精密CNC 微銑削系統

加工范圍

350mm寬x350mm長x150mm高

基本架構

整體復合環氧樹脂花崗巖底座嵌入碳纖維加固

隔震裝置

優化空氣隔震系統。可選配自動調平阻尼式空氣隔震系統

控制系統

基于PC的DeltaTau CNC運動控制器， Intel i5 2.5 GHz 處理器，Windows 運行系統， 配備19寸彩色觸摸屏，2G 內存，10/100/1000以太網接口，DVD+/-RW SATA光驅以及500GB 硬盤，全系統安裝于NEMA 12機柜。

編程分辨率

線性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001°

主軸

標準指標

類型

空氣軸承

主軸轉速范圍

5,000- 60,000 RPM

軸向剛度

65 N/μm (371,000 lbs./in.)

徑向剛度（鼻端）

20 N/μm (114,000 lbs./in. )

驅動系統

無刷直流電機

運動精度

軸向: ≤ 25 nm 徑向: ≤ 25 nm

線性軸

X

Y

Z（垂直）

類型

全約束式油靜壓，閉式導軌

全約束式油靜壓，閉式導軌

全約束式油靜壓，閉式導軌，并配置空氣軸承適應控制器，用于平衡重力和不同的負載

行程

350mm

350mm

150mm

驅動系統

無刷直流直線電機

無刷直流直線電機

雙無刷直流直線電機

反饋類型

激光全息線性光柵尺

激光全息線性光柵尺

激光全息線性光柵尺

反饋分辨率

0.034nm

0.034nm

0.034nm

進給速率（）

2000mm/min

2000mm/min

2000mm/min

直線度

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

靜壓油裝置

緊湊，低流量，低壓力系統，配備封閉式循環伺服控制以及使油泵脈動最小化的壓力積蓄裝置

溫度管理系統

描述

閉環冷卻系統

提供導軌靜壓油及主軸冷卻液的溫度控制

陶瓷主軸固定臂

具有較高結構剛度和低熱膨脹系數的輕量化設計

熱敏電阻溫度監測系統

嵌入熱敏電阻持續監控實時溫度，1/1000華氏度分辨率

Nano temp軟件

溫度制圖軟件，跟蹤機器內溫度變化情況

機床外殼

外殼充分利用雙滑動門改進了溫度穩定性（可選空氣淋浴）

選配旋轉軸

旋轉C軸

類型

油靜壓

行程

360°（雙向）

驅動系統

無刷直流電機

軸向剛度

875 N/μm (5,000,000 lbs./in.)

徑向剛度（鼻端）

260 N/μm (1,500,000 lbs./in.)

定位精度

±1.0弧秒

反饋分辨率

0.02弧秒

速度（定位模式）

50 rpm

運動精度

軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤0.1μm

環境要求

Air空氣

Electrical供電要求

占地要求（包括電氣柜）

為優化車削結果，熱穩定性應被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內

7.5to 10 bar (110–150 psi)

280liters/min (10 scfm)

過濾10μm 以上微粒

干燥至10°C 壓力露點

208- 480 VAC; 3相位；50 / 60hz; 3 Phase (11kVA)

1.9m寬 x 1.8m 長 x 2.1m 高

重量約3,360 Kg

(包括機床外殼和電柜，但不包括控制臺等外圍設備)