詳細介紹
研磨平板比刮研平臺精度高,平臺表面鏟刮刀痕被研磨平,平面度誤差小。
工作原理是游離的磨粒通過研磨平臺對工件進行微量的切削(包含著物理和化學的綜合作用),修正工件加工表面極微小的誤差。
(一)物理作用:
研磨時,可預先把磨料壓嵌在研磨平臺(簡稱研具)表面,也可在研具或工件表面涂一層研磨劑。由于研具的材料比被研磨的工件軟,研磨劑中的磨粒在研具表面一種半固定或浮動的多刃基體。當研具與工件相對施加壓力作研磨運動時,介于兩者之間的無數磨粒作刮劃、滾動,從而產生微量的切削作用,而每一磨粒都不會在工件表面重復自己的運動軌跡。
(二)化學作用:
當采用氧化鉻、硬脂酸或其他劃線研磨劑對工件進行研磨時,工件的金屬表面會形成一層極薄的氧化膜。氧化膜本身很容易被研磨掉。在研磨過程中氧化膜迅速形成,又不斷的被磨掉,從而加快了研磨過程。
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