詳細介紹 所有的軸采用四面環抱氣浮軸承全封閉的X和Y軸優秀的抗彎曲性、側面驅動的輕結構龍門架 工作臺的防護罩及對X軸和Y驅動軸全封閉 玻璃陶瓷光柵尺 彈性減振系統 S-CAA和D-CAA用于補償靜態和動態彎曲效應選項 MSR探針庫位配置了VAST gold探頭和ProMax探針更換架的PRISMO轉臺集成為第4軸 采用托盤和上料系統 ACCEPT防護罩，適合在線使用測量范圍(in mm)PRISMO 5 (7)：700 x 900 x 500 (650)PRISMO 7：900 x 1200 –2400 x 650PRISMO 10：1200 x 1800 – 4200 x 10001600 x 2400 – 4200 x 1000PRISMO 14：1600 x 2400 – 4200 x 1400可配置的傳感器RDS Sensor CarrierViSCANLineScanDTSVAST XXTVAST gold
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