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詳細(xì)介紹
硅片平面拋光機(jī)特 點(diǎn)
1． 本系列研磨機(jī)的上、下研磨盤可進(jìn)行自動修盤。
2． 采用四個電機(jī)同步拖動，變速范圍更廣，運(yùn)動精度更高，響應(yīng)速度更快，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實(shí)現(xiàn)了軟啟動、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
3． 修面機(jī)采用伺服馬達(dá)驅(qū)動，能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)功能；
5． 本系列研磨機(jī)有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
硅片平面拋光機(jī)技術(shù)參數(shù)：
型 號 | SX-4B | SX-5B | SX-6B | SX--7BG | SX--9B |
研磨盤規(guī)格： | φ200×φ100×12t | φ300×φ120×12t | φ380×φ140×12t | φ510×φ200×12t | φ635×φ240×12t |
zui大加工工件尺寸 | φ60mm | φ100mm | φ130mm | φ165mm | φ200mm |
工件平面度（25mm） | ±0.1u以內(nèi) | ±0.1u以內(nèi) | ±0.1u以內(nèi) | ±0.1u以內(nèi) | ±0.2u以內(nèi) |
工件平行度（25mm） | ±0.2u以內(nèi) | ±0.2u以內(nèi) | ±0.2u以內(nèi) | ±0.2u以內(nèi) | ±0.4u以內(nèi) |
工件粗糙度（石英材料） | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) |
研磨盤修面后平行度 | ±1u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) |
游輪規(guī)格 | φ80mm | φ125mm | φ155mm | φ190mm | φ230mm |
游輪數(shù)量 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 |
下研磨盤轉(zhuǎn)速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
下研磨盤電機(jī)功率 | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V | 2.2kw 3相380V |
上研磨盤研磨轉(zhuǎn)速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
上研磨盤電機(jī)功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V |
上研磨盤修面轉(zhuǎn)速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
上研磨盤修面電機(jī)功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
太陽輪轉(zhuǎn)速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
太陽輪電機(jī)功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
外齒輪轉(zhuǎn)速 | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm |
外齒輪電機(jī)功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
修面機(jī)速度 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 |
修面機(jī)伺服馬達(dá)功率 | 750w | 750w | 750w | 750w | 750w |
外形尺寸： | 680×1000×2100mm | 740×1100×2200mm | 800×1200×2300mm | 1000×1450×2400mm | 1200×16150×2400mm |
重量： | 760kg | 850kg | 1100kg | 1600kg | 2300kg |
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工作原理：
1．本系列研磨機(jī)為超高精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。
2．本系列研磨機(jī)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行平面修整。
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