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詳細介紹
高精密可修面雙面研磨機
主要用途：
該機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。
工作原理：
2．本系列雙面研磨機為超高精密研磨設備，上、下研磨盤作相反方向轉動，工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產效率高。
2．本系列雙面研磨機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行平面修整。
特 點
1． 本系列雙面研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。
2． 采用四個電機同步拖動，變速范圍更廣，運動精度更高，響應速度更快，能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現了軟啟動、軟停止，調速穩定，沖擊小。
3． 修面機采用伺服馬達驅動，能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系統中采用DSP、Web-Link、彩色終端等*技術，系統的響應速度更快、更精確，并具有遠程監控，遠程維護功能；
5． 本系列雙面研磨機有光柵厚度控制系統，加工后的產品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內。
技術參數：
| 型 號 | SX-4B | SX-5B | SX-6B | SX--7BG | SX--9B |
| 研磨盤規格： | φ200×φ100×12t | φ300×φ120×12t | φ380×φ140×12t | φ510×φ200×12t | φ635×φ240×12t |
| zui大加工工件尺寸 | φ60mm | φ100mm | φ130mm | φ165mm | φ200mm |
| 工件平面度（25mm） | ±0.1u以內 | ±0.1u以內 | ±0.1u以內 | ±0.1u以內 | ±0.2u以內 |
| 工件平行度（25mm） | ±0.2u以內 | ±0.2u以內 | ±0.2u以內 | ±0.2u以內 | ±0.4u以內 |
| 工件粗糙度（石英材料） | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 |
| 研磨盤修面后平行度 | ±1u以內 | ±1u以內 | ±1u以內 | ±2u以內 | ±2u以內 |
| 游輪規格 | φ80mm | φ125mm | φ155mm | φ190mm | φ230mm |
| 游輪數量 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 |
| 下研磨盤轉速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
| 下研磨盤電機功率 | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V | 2.2kw 3相380V |
| 上研磨盤研磨轉速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
| 上研磨盤電機功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V |
| 上研磨盤修面轉速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
| 上研磨盤修面電機功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
| 太陽輪轉速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
| 太陽輪電機功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
| 外齒輪轉速 | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm |
| 外齒輪電機功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
| 修面機速度 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 |
| 修面機伺服馬達功率 | 750w | 750w | 750w | 750w | 750w |
| 外形尺寸： | 680×1000×2100mm | 740×1100×2200mm | 800×1200×2300mm | 1000×1450×2400mm | 1200×16150×2400mm |
| 重量： | 760kg | 850kg | 1100kg | 1600kg | 2300kg |
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