技術文章
電火花線切割內圓切割技術的*性
閱讀:1673 發布時間:2015-1-28
內圓切割利用內圓刀片為切割刀具,以其內圓作為刀口,其鑲上金剛石顆粒,一片一片進行磨銷切割。內圓切割品種變換簡單方便,靈活,風險低,但是效率低,原料損耗大,硅片體形變大,加工參數一致性差。
中走絲線切割加工中同內圓切割技術相比有其明顯的弱點,一是片厚平均誤差較大(約為內圓切割技術2倍)。二是切割過程中智能檢測控制不易實現。三是切割過程的成功率要求較高,風險大,一但斷絲而不可挽救時,直接浪費一根單晶棒。四是不能實現單片質量控制,一次切割完成后,才能檢測一批圓片的切割質量,并且圓片之間切割質量也不相同。
在這些方面,電火花線切割內圓切割技術卻顯示出其*性來。具體表現在:
1、自動、單片方式切換操作方便性。
2、小批量多規格加工時靈活的加工可調性。
3、切片精度高,切片成本低,同規格級的內圓切片機價格為線切割機價格1/3~1/4,線切割機還需配置粘料機,每片都可調整。
4、低成本的輔料(線切割機磨料及磨料液要定時更換)。
5、不同片厚所需較小的調整時間,不同棒徑所需較小的調整時間。
6、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認為:隨著硅晶片大片徑化發展,線切割技術是硅片切割的主流技術,在規模化晶圓片切割中將取代內圓切割技術。因此人們加大了對200mm以上線切割機的研究,以解決其技術不足。
中走絲線切割加工中同內圓切割技術相比有其明顯的弱點,一是片厚平均誤差較大(約為內圓切割技術2倍)。二是切割過程中智能檢測控制不易實現。三是切割過程的成功率要求較高,風險大,一但斷絲而不可挽救時,直接浪費一根單晶棒。四是不能實現單片質量控制,一次切割完成后,才能檢測一批圓片的切割質量,并且圓片之間切割質量也不相同。
在這些方面,電火花線切割內圓切割技術卻顯示出其*性來。具體表現在:
1、自動、單片方式切換操作方便性。
2、小批量多規格加工時靈活的加工可調性。
3、切片精度高,切片成本低,同規格級的內圓切片機價格為線切割機價格1/3~1/4,線切割機還需配置粘料機,每片都可調整。
4、低成本的輔料(線切割機磨料及磨料液要定時更換)。
5、不同片厚所需較小的調整時間,不同棒徑所需較小的調整時間。
6、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認為:隨著硅晶片大片徑化發展,線切割技術是硅片切割的主流技術,在規模化晶圓片切割中將取代內圓切割技術。因此人們加大了對200mm以上線切割機的研究,以解決其技術不足。