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1. 放電間隙：放電間隙指加工時工具和工件之間產生火花放電的一層距離間隙。在加工過程中，則稱為加工間隙S，它的大小一般在0.01-0.5mm之間，粗加工時間隙較大，精加工時則較小。加工間隙又可分為端面間隙SF和側面間隙SL
2. 脈沖寬度ti（μs）：脈沖寬度簡稱脈寬，它是加到工具和工件上放電間隙兩端的電壓脈沖的持續(xù)時間為了防止電弧燒傷，電火花加工只能用斷斷續(xù)續(xù)的脈沖電壓波。粗加工可用較大的脈寬ti>100μs，精加工時只能用較少的脈寬ti<50μs。
3. 脈沖間隔to(μs)：脈沖間隔簡稱脈間或間隔，也稱脈沖停歇時間。它是兩個電壓脈沖之間的間隔時間。間隔時間過短，放電間隙來不及消電離和恢復絕緣，容易產生電弧放電，燒傷工具和工件；脈間選得過長，將降低加工生產率。加工面積、加工深度較大時，脈間也應稍大。?
4. 開路電壓或峰值電壓：開路電壓是間隙開路時電極間的zui高電壓，等于電源的直流電壓。峰值電壓高時，放電間隙大，生產率高，但成型復制精度稍差。
5. 火花維持電壓：火花維持電壓是每次火花擊穿后，在放電間隙上火花放電時的維持電壓，一般在25V左右，但它實際是一個高頻振蕩的電壓。電弧的維持電壓比火花的維持電壓低5V左右，高頻振蕩頻率很低，一般示波器上觀察不到高頻成分，觀察到的是一水平亮線。過渡電弧的維持電壓則介于火花和電弧之間。
6. 加工電壓或間隙平均電壓U（V）:加工電壓或間隙平均電壓是指加工時電壓表上指示的放電間隙兩端的平均電壓，它是多個開路電壓、火花放電維持電壓、短路和脈沖間隔等零電壓的平均值。在正常加工時，加工電壓在30-50V，它與占空比、預置進給量等有關。占空比大、欠進給、欠跟蹤、間隙偏開路，則加工電壓偏大；占空比小、過跟蹤或預置進給量小（間隙偏短路），加工電壓即偏小。
7. 加工電流I（A）:加工電流是加工時電流表上指示的流過放電間隙的平均電流。精加工時小，粗加工時大；間隙偏開路時小，間隙合理或偏短路時則大。
8. 短路電流IS（A）:短路電流是放電間隙短路時（或人為短路時）電流表上指示的平均電流（因為短路時還有停歇時間內無電流）。它比正常加工時的平均電流要大20-40%。
9. 峰值電流IS（A）:峰值電流是間隙火花放電時脈沖電流的zui大值（瞬時），日本、英國、美國常用IS表示，雖然峰值電流不易直接測量，但它是實際影響生產率、表面粗糙度等指標的重要參數(shù)。在設計制造脈沖電源時，每一功率放大管串聯(lián)限流電阻后的峰值電流是預先選擇計算好的。為了安全，每個50W的大功率晶體管選定的峰值電流約為2-3A，電源說明書中也有說明，可以按此選定粗、中、精加工時的峰值電流（實際上是選定用幾個功率管進行加工）。
10. 放電狀態(tài):放電狀態(tài)指電火花加工時放電間隙內每一脈沖放電時的基本狀態(tài)。一般分為五種放電狀態(tài)和脈沖類型