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詳解下硅片單面減薄設備的應用
閱讀:343 發布時間:2022-7-5所述圓形固定板外側設有支撐在支架上的同心轉軸,所述同心轉軸應用傳動機構與設于箱體外側的驅動電機相連,所述箱體內另設有加溫、降溫用的耐腐蝕循環水管。硅片減薄漂片機,所述圓形固定板對應四根提籃桿中的三根提籃桿位置設有圓形裝置孔,對應余下的一根提籃桿位置設有U形裝置卡槽,以便于取放硅片。
硅片減薄漂片機,所述支架上設有對應同心轉軸的U形槽,所述同心轉軸支撐于U形槽的槽底,同時便當放置旋轉提籃。硅片減薄漂片機,所述傳動機構由設于同心轉軸上的從動錐形齒輪、與從動錐形齒輪嚙合的主動錐形齒輪組成,所述主動錐形齒輪應用聯軸器與驅動電機的輸出軸端部銜接,所述驅動電機倒置于箱體頂部。
硅片減薄漂片機,所述耐腐蝕循環水管沿箱體內壁蛇形排布。經過旋轉提籃帶動硅片在裝有酸液的箱體內旋轉,旋轉的同時完成減薄,關于原始硅片有效的控制了單片平均性、反復性和穩定性,進步了最終廢品率。
經過設于箱體內的加溫、降溫用的耐腐蝕循環水管,完成酸溫丈量、酸溫控制,防止了酸溫過高形成的浮膠現象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不平均,保證了腐蝕反響契合設計計算請求的腐蝕效率和平均性,由于提籃桿沿其長度方向平均設有多個徑向環形槽,則可完成大量硅片的同時裝夾,完成硅片減薄的批量消費。