技術參數：
◇ 行    程：                   
X軸:1000 mm
Y軸:1200 mm
Z軸:800 mm
◇ 結構型式：移動橋式
◇ 傳動方式：直流伺服系統+ 預載荷高精度空氣軸承
◇ 開放式光柵尺
◇ 機    臺：高精度花崗巖平臺
◇ 整機尺寸：1935 m m X 1350 m m X 2729m m
◇ 機臺承重：2200 kg 
整機重量：3500 Kg
◇ 長度測量允許示值誤差：MPEE= 2.9+L/300
◇ 允許探測誤差(mm)： MPEP=2.9 

環境條件要求：
◇ 測量機室溫度要求
測量機室的溫度: 18 - 22 °C
機器周圍環境的溫度梯度: 1 °C/h，2 °C/24h，1 °C/m
◇ 供氣系統
最小供氣壓力 : 0.5 Mpa
耗氣量: 120 L/min
◇ 供電系統
電壓: 220 V ± 10%
耗電量: 2000W
電流: 15 A
用電設備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆