基本參數(標準型)

X向量程：100mm

X軸分辨率：0.2μm

X軸指示精度：±（3+0.02L)μm

Z1向量程：25mm

Z1軸分辨率：0.05μm

Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm

Z軸高度：320mm   立柱行程

直線度：1μm/50mm

水平精度：±（1.2+0.02L)μm

垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm

驅動方式：X軸  Z軸 均為電動

檢測方法： X軸 高精度光柵傳感器 0.2μm

         Z1軸 高精度光柵傳感器 0.05μm

驅動速度： X軸 Z軸（立柱）  4檔，可自定義速度

測量速度：X軸: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定義