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5軸水平多關節型潔凈機械手臂

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號GTFR5280
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-16
  • 訪問次數576
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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發區,是由留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂。單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。適用于300mm半導體生產設備內部,適用于EFEM的晶片搬運。
5軸水平多關節型潔凈機械手臂 產品信息
特點

    與我司以往產品的GTCR相比,減少動作禁止區域、速度限制的影響,提高傳片效率。
    (比本公司以往產品提高60%)

  • 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
  • 機械手臂可以單獨對應3個FOUP(280mm臂長)
  • 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 可以選擇單臂規格
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式, Ethernet
  • 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機, 無需電池
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
  • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指

規格
機械手臂型號 GTFR5280-320-DM
被搬運物 ~300mm晶圓
晶圓吸附方式 真空吸附式
機械結構格式 水平多關節
控制軸 5軸
電機類型 全軸采用AC伺服電機, 無需電池
可動范圍 被搬送物體中心到達距離 升降(Z軸)
893mm 320mm
搬運速度(平均) 手臂(R軸) 升降(Z軸)
900mm/sec(圓筒動作時) 320mm/sec
搬運速度() 手臂(R軸) 升降(Z軸)
1,500mm/sec(圓筒動作時) 540mm/sec
重復性精度 ±0.05 mm以內
潔凈度 ISO標準 Class 1
廠務 電源:単相AC200V±10% 2kVA
真空:優于-75kPa(使用真空吸附式手指)
質量 機械手臂體 大約80kg

上述規格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規格的一個示例

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