產(chǎn)品描述
蔡司公司推出Sigma300場發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計，將低電壓成像技術(shù)發(fā)揮到了，采用適宜的探針電流范圍，降低50%的信噪比從而提升了85%的襯度信息。Sigma300將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma自動的四步工作流程大大節(jié)省了設(shè)置與分析操作的時間，提高效率。
產(chǎn)品應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測量。
技術(shù)參數(shù)
- 分辨率：1.0nm@30kV STEM 、1.0nm @15 kV 、1.8nm @1kV
- 放大倍數(shù)：10-1,000,000×
- 加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實現(xiàn)）
- 探針電流： 3pA～20nA（100nA選配） 穩(wěn)定性優(yōu)于 0.2%/h
- 低真空范圍： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
- 樣品室： 365 mm（φ），275mm（h）
- 樣品臺：5軸優(yōu)中心全自動 X=125mm Y=125 mm Z=50 mm T=-10o-90o R=360o 連續(xù)
- 系統(tǒng)控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng)，可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制
- 存儲分辨率：32k x 24k pixels
