產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
NH-3Ns 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 輪廓量測：自動尋心、Alignment、參考平面修正、程式點矩陣高度座標量測
- 影像量測：圓徑、線寬、線距、粒子分析、Alignment Mark Pattern Matching
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案
規格
NH-3Ns 非接觸光學輪廓儀
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 100mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | ? 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 ? 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 ? 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 ? 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) | ||||
| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物臺 | XY平臺尺寸 | 244x240mm | |||
| 樣品高度 | 105mm | ||||
| 樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x900x1400 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
| 消費電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (2+3L/100) um | ||||
光學特性量測
NH-3Ns 結合顯微鏡影像量測觀察與雷射表面自動聚焦功能，屬於多功能研究開發型表面3D輪廓量測儀器，顯微鏡電動鼻輪自動切換光學倍率，XY軸光學尺定位精度0.1um，Z軸量測精度10nm光學尺保證精度。
量測應用
- 精密光學：模仁與鏡片 面形幾何輪廓、CAD比對、粗度量測、非球面評價
- 半導體：光阻輪廓、光波導輪廓、表面粗度量測
