100級無塵烤箱CM-100T_晶圓PI膠固化

100級無塵烤箱CM-100T概述： 
晶圓PI膠固化烤箱CM-100T是參照 Federal Standard(FS)209E 無塵等級規格研發制造，廣泛應用于電子液晶顯示屏、LCD、CMOS、IC、實驗室等生產及科研部門。采用平面水平送風，然后經過進口HEPA Filter裝置 (特殊風道設計)送風，過濾效率可達99.99%，滿足Class 100級無塵規格，排氣口為3"φ(附自動啟閉風門功能),以達到強烈循環的效果。

100級無塵烤箱CM-100T箱體結構：
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風道系統部分組裝而成，結構合理，外型美觀大方
·全周氬弧焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電加熱器，防止機臺本身產生微塵
·箱體材料：SUS304#不銹鋼板
·內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經堿性蘇打水清潔，去油污以避免烘烤時產生微塵
·中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料：采用正廠*玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造
·電熱器：采用進口覆套式電加熱器 (SHEATHED HEATER)，為無塵化電熱發生器
·潔凈度：烤箱內部均采用無塵化配件及材料

CM-100T（100級無塵烤箱）規格：  
無塵等級        Class 100
溫度范圍        室溫～+250℃
升溫速度        常溫～+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度      ±1%；（空載）
溫度精確度      ±1℃；（空載）
工作室尺寸      W600×H550×D500 mm
外形尺寸        W1100×H1700×D1220 mm
加熱功率        14kw
層板            共2片
環境條件        溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H
電源            AC380v , 三相，50Hz
氣壓            86～106Kpa
使用條件        無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體
                箱體周圍應留有500mm的空間供設備安裝、維修使用

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