2022-11-09 16:11:16349
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- 廠商性質:生產廠家
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- 所在地區:國外
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NDR-4000（A）全自動DRIE深反應離子刻蝕概述：全自動上下載片，帶低溫晶圓片冷卻和偏壓樣品臺的深硅刻蝕系統，帶8“ICP源。系統可以配套500L/S抽速的渦輪分子泵，可以使得工藝壓力達到幾mTorr的水平。在低溫刻蝕的技
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