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北京鐳測科技有限公司

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2022-08-26 11:06:591618
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光刻機專用雙頻激光干涉儀可構建XY位移臺等多軸測量系統采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差大功率可同時測量更多數量的軸向位移大頻差,測量速度更快

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