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- 產品型號:DFP8160
- 廠商性質:生產廠家
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在線詢價圖片描述：
實現不使用化學制劑應力釋放的300mm干式拋光機Φ300mm1axis,1chucktableWaferThinningStressReleaf提高薄型晶圓的良品率DFP8160是*不使用研磨液(Slurry)就可以去除晶圓背面損傷層（應力釋放，StressRelief），可對應
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