2020-08-10 17:22:15197
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P66.X60一維X向壓電納米定位臺60μmP66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進
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