【機床商務網欄目 科技動態】激光加工行業對玻璃和類似材料的精密無錐度打孔的需求日益增長。美國AdValue Photonics公司生產的光纖激光器,能為芯片尺寸小于20 μm的透明玻璃材料進行高速無錐度打孔,從而提供了一種此前認為不可能實現的經濟的解決方案。
傳統的激光打孔工藝通常會導致錐形孔的形成,因此需要使用一系列5軸光束轉向系統,通過動態調整激光束的入射角度,使其與打孔動作同步,從而實現錐度小化。然而,這些系統價格昂貴,同時還難以調整和維護。
在透明材料中,可以通過傳統的振鏡掃描頭實現無錐度工藝。傳統上,這種工藝使用了脈沖持續時間為幾十納秒的綠光二極管泵浦固體(DPSS)激光器,導致芯片尺寸超過120 μm。對于芯片尺寸小于20μm的工藝而言,則需要皮秒激光器;與此同時,無錐度工藝則要求初為綠光DPSS激光器開發的相同工藝。
AdValue采用EVERESTpico 1μm激光器,以1 MHz的重復頻率和M2 = 1.3、50皮秒的脈沖持續時間、50μJ的脈沖能量,通常在玻璃和藍寶石材料中能高速實現芯片尺寸小于20 μm的無錐度打孔。
(原標題:利用皮秒激光器實現無錐孔打孔)
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